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Category Archives: 電子儀器

晶圓半導體量測儀器功能與應用綜合分析

摘要 本報告旨在對 Mitaka Kohki 的 NH-3SP 膜厚量測儀器進行深入分析,並與市場上其他具備類似功能的晶圓半導體量測儀器進行比較。報告內容涵蓋 NH-3SP 的核心功能、在半導體製程中的應用階段,以及各類儀器的技術原理、優勢、限制和應用場景。透過整合分析與視覺化呈現,提供對晶圓量測技術的全面理解。 1. Mitaka Kohki NH-3SP 膜厚量測儀器分析 根據志隆儀器官網的資訊 ,Mitaka Kohki 的 NH-3SP 膜厚量測儀器主要用於 Step Height 量測,其核心功能與技術特點如下: Macro巨集程式化自動量測:具備自動量測晶圓表面線路膜厚、線寬、粗糙度的能力,並透過 Alignment Mark 自動辨識實現高度自動化。 影像與輪廓量測功能:可進行寬度、圓徑、中心點等影像量測,以及膜厚、線寬、PITCH、step height(階高)及粗度等輪廓量測。 非接觸式量測:採用點雷射自動聚焦技術,掃描樣品表面形貌與微結構輪廓,實現精準快速的自動化量測,且不會刮傷樣品表面,特別適合量測高深寬比的微結構輪廓。 高精度:搭載高精度光學尺,解析度可達 0.001um。 問題診斷:影像與輪廓量測的搭配,有助於在數據異常時快速判斷問題原因。 1.1 NH-3SP 在晶圓半導體製程中的應用階段 NH-3SP wafer 膜厚量測儀器在晶圓半導體製程中扮演關鍵的品質控制與製程監測角色,主要應用於以下階段 : 薄膜沉積 (Thin Film Deposition):精確量測介電層、金屬層或其他功能性薄膜的厚度與均勻性。 微影蝕刻 (Photolithography and Etching):量測線路線寬、蝕刻深度 (step height) 及粗糙度,確保圖案轉移的精確性。 化學機械平坦化 (Chemical Mechanical Planarization, CMP):量測 CMP 前後的階高 (step height) 變化,評估平坦化效果。 先進封裝技術 (Advanced Packaging):監測 AI 晶片、HPC 和 CoWoS 等複雜結構的 3D 表面形貌,確保製程穩定性與良率。 總體而言,NH-3SP 主要用於半導體製程中的前段製程 (FEOL) 和後段製程 (BEOL) 的多個關鍵檢測點,尤其在需要高精度非接觸式量測薄膜厚度、線寬、階高和表面形貌的環節。 2. 類似功能晶圓半導體量測儀器比較 市場上存在多種與 […]

如何用影像測量儀優化自動量測流程

量測進入自動化時代 自動化量測已成為製造業的必然趨勢。 傳統人工量測依賴經驗與人力,不僅耗時,還容易出現誤差。根據《Manufacturing Global》2023 年調查,超過 68% 的製造企業認為「檢測效率」是產線最大的瓶頸之一。這也促使越來越多企業導入影像測量儀等自動化設備。 傳統量測的侷限 人工檢測慢、誤差大。 在高精度產業,例如半導體或醫療器材,0.01 mm 的偏差就可能導致產品報廢。這使得單靠人工難以應付日益嚴苛的品質要求。 自動化量測的崛起 自動化量測成為「品質保證」的關鍵工具。 影像測量儀透過非接觸式檢測與自動數據分析,不僅減少誤差,也讓產線能更快完成大批次檢測。 現今企業在量測上的挑戰 現今企業面臨「精度與效率」的雙重壓力。 隨著市場競爭加劇,產線對於快速交付與零缺陷品質的要求愈來愈高。 高精度需求下的檢測壓力 誤差小卻代價大。 以汽車製造為例,根據美國品質協會(ASQ)的統計,尺寸誤差造成的返工成本,平均佔到製造費用的 12%。這對大量產線而言是沉重負擔。 大量測試的時間成本 時間就是金錢。 一家電子零件廠商表示,傳統人工量測一批 500 件零件需要 8 小時,而導入自動化影像測量儀後僅需 1.5 小時,效率提升超過 4 倍。 自動化量測與影像測量儀 自動化量測整合軟硬體,打造「快速、準確、可追溯」的檢測流程。 這不僅是技術升級,更是企業競爭力的關鍵投資。 影像測量儀的核心技術

常用類型影像儀

影像儀是一種光學儀器,它將工業計量方式從傳統的光學投影對位提升到了依託數位影像時代而產生的計算機螢幕測量。光學儀器影像儀的類型較多,下面就來介紹兩種常用的影像儀類型:

優質真空機製造 – 友圓實業有限公司

友圓實業有限公司創立於1986年,專業從事於包裝機械與包裝材料銷售服務已有20餘年經驗,專業生產自動化包裝設備及各式包裝材料。包裝主要功能著重於促進批售、零售與使用之方便,及作業效率之提高。 提供雙槽式真空包裝機、立地型真空包裝機、桌上型真空包裝機、連續式真空包裝機、真空整平機等生產自動化包裝設備、真空設備及各式真空袋,應用範圍廣大,如:茶葉、食品、禮品、醃漬食物、 電子、五金零件等..另提供日期標示機及包裝袋設計、印刷。 友圓實業有限公司 電話 :04-23729456 傳真: 04-23754256 地址:台中市西區五權西一街13號 信箱:yeou.yuan@msa.hinet.net 網站:https://www.packingnet.com.tw/

精密測量中的常用五金儀器工具

在現代工業的生產中,我們經常性的會用到各種各樣的檢測儀器,精密測量儀器就是其中的主要儀器。而在精密測量儀器中,又有許多的檢測儀器,如二次元影像測量儀等,下面,我們就介紹一下,在我們的認知中常用的精密檢測儀器有哪些? 首先,我們所熟知的精密測量儀器,第一個就是二次元影像測量儀,又叫影像測量儀、二次元影像儀,簡稱二次元,是精密測量儀器中使用最為廣泛的儀器之一。所謂二次元影像測量儀,從字面上我們可以看出,是以檢測工件的二維數據為主的影像測量儀器。 由於二次元影像測量儀主要應用在二維檢測上,所以我們就在二次元的基礎上研發生產了三次元,這就是我們常說的三坐標測量機或三坐標測量儀,它在長寬檢測的根本上加了高度檢測的功能,是模具檢測等主要的檢測儀器。 二次元影像測量儀和三坐標測量機在使用中,我們會根據儀器的操作方式,進而將它們分為手動型和自動型的二次元、三坐標,而在現今的市場上,我們使用更為普遍的是CNC二次元與CNC三次元,因為它們能夠更為精準的檢測出我們所需的參數與數據,操作也更加的方便。 在精密測量儀器的常用儀器中,除了二次元影像儀和三次元測量儀之外,還有一種特殊的高精度測量儀,這就是介於二次元與三坐標之間的2.5次元,它是在二次元的基礎上加裝了探針,以此來實現簡單的三維檢測的功能,這也是我們稱之為2.5次元的原因。 無論是MUMA二次元、NV全自動影像測量儀或者CMF全自動三次元,亦或2.5次元,它們的根本功能就是為了更好的檢測工件,為產品的安全生產提供保障,所以我們說,精密測量儀器是現代工業生產中比不可少的檢測儀器。 精實盟科技股份有限公司所代理相關儀器適用於:半導體/導線架、電子業、LCD產業、製罐、油封、塑膠射出零件、模具、 縫衣機、電腦周邊零件、紡織業、大專學校研究單位、汽機車產業製造、工作母機業等,腳踏車、照相機、 光學等各項產業均可應用本公司所代理之產品。 台中市北屯區三甲東街330號 Tel: +886-4-2435-0231 Fax: +886-4-2435-0091 Email: j1768@ms15.hinet.net Website: http://www.jingsh-meng.com/ 參考網址:https://read01.com/7Kkazd.html